Studio di diodi PiN ed IGBT veloci
ed a bassa caduta in conduzione
L’attività
di ricerca è svolta in collaborazione con i laboratori di ricerca della
ST-microelectronics di Catania. Oggetto di studio sono le tecniche di controllo
locale del lifetime con particolare riferimento alla tecnica di creazione di
voids mediante irradiazione con ioni di elio, per l’ottimizzazione delle
caratteristiche del diodo PiN e dell’IGBT.
Controllo locale del lifetime e dell’efficienza di emettitore per il
progetto del diodo PiN:
Un parametro importante per il progetto dei dispositivi di potenza è il tempo di
vita medio dei portatori all’interno del dispositivo. Tempi di vita medi
elevati riducono la caduta di tensione in conduzione ma rallentano la
commutazione del dispositivo.
Le tecniche commercialmente disponibili per il controllo del valore del lifetime
sono basate sul drogaggio con atomi di oro o platino o sull’irradiazione con
elettroni. Tali tecniche riducono il lifetime in tutto il dispositivo.
Recentemente sono state sviluppate tecniche in grado di controllare localmente il tempo di
vita dei portatori. Molte attività di ricerca sono state rivolte all’utilizzo
delle nuove tecnologie per il miglioramento delle prestazioni dei dispositivi di
potenza, ed in particole del trade-off tra velocità di commutazione e caduta di
tensione in conduzione. In questo ambito si è studiato, con l’ausilio di
tecniche numeriche, l’effetto di una regione a basso lifetime sulle
caratteristiche statiche e dinamiche del dispositivo. Le variabili considerate
sono state, il valore del lifetime e la posizione ed ampiezza della regione a
basso lifetime. Il progetto ottimale così trovato è stato quindi confrontato
con altre tecniche di progetto di diodi PiN quali il controllo dell’efficienza
di emettitore e il controllo del lifetime non localizzato. L’attività svolta
ha permesso di dimostrare che: